Technologie

FACILITIES

Das AMTC Gebäude wurde im Jahr 2002 speziell für den Maskenbau gebaut. Das Design und die Konstruktion ermöglichen es uns, extrem niedrige Vibrationswerte zu erreichen. Seit 2002 wurden mehrere große Upgrades der medialen Versorgung durchgeführt, um die Anlagen auf dem neuesten Stand der Technik zu halten. Heute verfügen wir über eine der modernsten Produktionsumgebungen für die Maskenherstellung weltweit. Schwerpunkt unserer täglichen Arbeit ist es, die Werkzeuge und die Prozesse im Reinraum mit Medien wie Wasser, Gasen, Luft, Chemikalien und Strom hochzuverlässig und in außergewöhnlicher Qualität zu versorgen. In Bezug auf die Reinheit unserer Medien bewegen wir uns an der Grenze des physikalisch und chemisch Machbaren. Gemeinsam mit unserer externen Betreibergesellschaft und unter Einsatz einer zentralen Überwachungssoftware stellen wir höchste kontinuierliche Verfügbarkeit aller Medien 24hx365 Tage im Jahr sicher.

Kennzahlen Fertigungsbereich für die Maskenherstellung

  • Gebäudedesign, Konstruktion auf extrem niedriegem Vibrationspegel
  • Reinraum Iso 5/3
  • Hochwertige Energieversorgung
  • 1.500.000 m³/h Reinluftstrom
  • < 0,05 K Temperaturgenauigkeit im E-Beam-Bereich
  • Sulfat- und Aminkontrolle < 1 ppb
  • Extrem niedriger Vibrationspegel < 10µm/s
  • Reinstwasserversorgung < 0,5 ppb Ionenrückstände

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